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產品分類:INFICON真空計壓力計
優點: ■測量范圍廣:5 X 10 -7~1 Pa ■全金屬冷陰極陶瓷傳感器 ■新型幾何電極提供了極好的點火性能 ■降低等離子點火高電壓和鈦陰極板污染的危險,即使在氬濺射過程中也一樣 ■陽極環和鈦陰極可清洗,更換容易 ■最小磁場強度測量 ■ LED指示燈電源和等離子點火 ■對數模擬輸出信號 ■ Fieldbus總線接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系統的網絡通信
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